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本发明公开了一种半导体集成电路通用测试探针座,其特征在于,包括测试架(1),支撑脚(9),测试夹板(2),针式测试引导装置,以及对称设置在测试架(1)的两端上的两根驱动杆(6)。本发明通过设置的多个可伸缩的针式测试引导装置,能在无需人工引出和额外添加飞线的情况下,实现对可正常引出和无法正常引出的半导体集成电路进行多SITE同步分析,降低了半导体集成电路样品分析过程中可能引入的二次损伤,使半导体集成电路的破坏性分析更加无损、可控,确保了半导体集成电路后期分析结果的成像观测,很好的解决了现有的半导体
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116840522 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310865651.6
(22)申请日 2023.07.13
(71)申请人 江苏七维测试技术有限公司
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