X 射线荧光镀层测厚仪校准规范要求.docxVIP

目 录 1 范围 ( 1) 2 引用文献 ( 1) 3 概述 ( 1) 4 计量特性 ( 2) 4.1 测量重复性 ( 2) 4.2 示值稳定性 ( 2) 4.3 示值误差 ( 2) 5 校准条件 ( 2) 5.1 环境条件 ( 2) 5.2 校准所用标准器及配套设备 ( 2) 6 校准项目和校准方法 ( 2) 6.1 外观及各部件功能 ( 2) 6.2 厚度测量重复性 ( 2) 6.3 示值稳定性 ( 3) 6.4 厚度示值误差 ( 3) 7 校准结果表达 ( 3) 8 复校时间间隔 ( 4) 附录 A 测量结果不确定度的评定 ( 5) 附录 B 常见镀层材料的典型测量范围 ( 9) 附录 C 台式仪器厚度标准块（片）的技术要求 ( 10) 附录 D 手持便携式仪器厚度标准块的技术要求 ( 12) JJF××××— ×××× 11- 1 - 1 1 X 射线荧光镀层测厚仪校准规范 1 范围 本规范适用于台式和手持便携式 X 射线荧光镀层测厚仪的校准。 2 引用文献 本规范引用下列文献： JJF 1001— 1998 通用计量术语及定义 JJF 1059— 1999 测量不确定度评定与表示 JJF 1094—2002 测量仪器特性评定 GB/T 16921-2005 金属覆盖层厚度测量X射线光谱方法 使用本规范时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。 3 概述 X 射线荧光镀层测厚仪是一种基于能量色散方法的非破坏性定量分析仪器，具有分析 测量多种金属材料成份和多种镀层厚度的功能，广泛应用于电子、半导体、首饰、材料分 析等行业。X 射线荧光镀层测厚仪测量镀层厚度的原理是：X 射线管产生的初级 X 射线 照射在被分析的样品上，样品受激发而辐射出二次 X 射线被探测器接收，此二次辐射具 有该样品材料的波长和能量特征，镀层厚度和二次辐射强度有一定的关系，经多道分析器 及计算机进行能谱分析处理后，计算被测样品的镀层厚度。 X 射线荧光镀层测厚仪的工作原理示意图见图 1 。外形示意图参见图 2 和图 3. 图 1 X 射线荧光镀层测厚仪工作原理示意图 图 2 台式镀层测厚仪 图 3 手持便携式镀层测厚仪 JJG××××— ×××× 2 4 计量特性 下列三项计量特性的技术要求，在验收时按用户和制造商双方达成的技术协议，复 校时按用户的规定。 4.1 测量重复性 4.2 示值稳定性 4.3 示值误差 5 校准条件 5.1 环境条件 5.1. 1 校准室的温度：（20±5） ℃。 5.1.2 校准室的湿度：不大于 75%RH。 5.2 校准所用标准器及配套设备 校准所用标准器及配套设备见表 1。 表 1 校准项目和校准所用标准器及配套设备一览表 序号 校准项目 校准用主要设备 厚度标准块（片）等别 1 测量重复性 厚度标准块（片） 1 等或 2 等 2 示值稳定性 3 示值误差 注：校准仪器用的标准块（片）的技术要求参考附录 C 和附录 D。 6 校准项目和校准方法 6.1 校准前准备 校准前应目视观察及开机运行检查，包括安全防护的可靠性、移动台、激光对位等 功能。在确保安全和没有影响校准计量特性的因素后方可进行校准。 仪器按使用说明书要求开机预热后，再进行基准光谱的校准。单次测量时间或准直 器大小按用户常用的测量条件进行设置。 6.2 测量重复性 在仪器的有效测量范围内，选取三个校准点（包括上、下限）进行测量，厚度标准 块（片）的材料的选用与仪器实际测量应用相一致，调用相应测量程序，重复测量十次， 记录仪器测量显示值hi ，按公式(1)计算实验标准偏差： n 1 i =1s = 1 (hi h)2 n 1 i =1 JJF××××— ×××× 31- 3 -3 3 式中：hi ------第 i 次测量的仪器示值(μm）； 式中：h------ 10 次测量的算术平均值(μm），n = 10 。 实验标准偏差s 除以 10 次重复测量算术平均值h 的百分数作为测量重复性，取三个 测量点中最大值作为仪器厚度测量重复性。 6.3 示值稳定性 选