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dbd放电反应器放电功率的测量方法 1 气体放电功率测量难度 介质阻抗辐射源（dap）广泛应用于许多生产和研究领域。放电负荷的大小对工作的状态和运行的效果有重要影响。在动态机制、工艺研究和实施过程中动态控制的应用中，准确、快速地测量放电负荷是必须解决的问题之一。然而，由于气体压电压和电流相位的不均匀性，很难确定电压和电流之间的相位误差，并且很难计算和测量功率。本文即在明确DBD放电反应器工作原理的基础上,对几种测量方法的优缺点进行对比,并介绍了在线测量系统的组成和实际测量结果。 2 气体推动等离子体 尽管DBD等离子体反应器的种类很多,但是放电的机理和过程是基本相同的。两电极之间有绝缘介质,给电极施加一定频率和电压的交流电,当达到气体的击穿场强时,工作气体会放电。通过放电间隙的电流是由大量叫做微放电的纳秒级快脉冲电流细丝组成,这些微放电在时间和空间上无规则地分布在整个放电空间,在微放电中平均电子能量较高(1—10eV),而离子能量不高,即非平衡态的低温等离子体。在这样的等离子体氛围下,再配加其他一些工艺条件,如选择合适的工作气体、气压以及电气参数等,即可达到化学合成、分解等不同的工作目的。 3 功率近似质量 忽略介质损耗,放电反应器的放电功率近似等于有功功率。测量的途径可以有:功率表法、定义法(由瞬时功率曲线得到)、电压/电荷利萨如图形法。 3.1 放电功率测量的误差及测量偏差