《半导体显示用高碱浓度负胶显影液》.docxVIP

PAGE I PAGE ICS 31.030 CCS L 90 FORMTEXT ?? 团体标准 T/ CEMIA—XXX- FORMTEXT XXXX 半导体用正胶显影液 　 FORMTEXT XXXX - FORMTEXT XX - FORMTEXT XX实施 中国电子材料行业协会???发布 FORMTEXT XXXX - FORMTEXT XX - FORMTEXT XX发布 半导体显示用高碱浓度负胶显影液 半导体显示用高碱浓度负胶显影液 High alkali concentration negative photoresist developer for semiconductor display （征求意见稿） （本稿完成日期：2023年06月15日） T/ CEMIA—XXX- FORMTEXT XXXX PAGE 3 半导体显示用高碱浓度负胶显影液 范围 本标准规定了半导体显示用高碱浓度负胶显影液的缩略语、技术要求、检验方法、检验规则、标志及包装、运输、贮存和安全事项。 本标准适用于主要成分为氢氧化钾，碱度大于8，除水外有效物质含量为20-40%的高碱浓度显影液。此高碱浓度显影液主要用于半导体制程中负性光刻胶的显影，也可用于薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）或有机发光二极管显示器（OLED）彩膜工艺的光刻胶的显影。 氢氧化钾的基本信息见附录A的A.1 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本标准，凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB 50073-2013 洁净厂房设计规范 GB/T 3143 液体化学产品颜色测定法（Hazen 单位——铂-钴色号） GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB 15346-2012 化学试剂 包装及标志 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB 15603 常用化学危险品贮存通则 GB/T 611-2021 化学试剂 密度测定通用方法 GB/T 9724 化学试剂 pH值测定通则 GB/T 9725 化学试剂 电位滴定法通则 GB/T 11446.1 电子级水 GB/T 11277-2012 表面活性剂 非离子表面活性剂 浊点指数（水数）的测定 容量法 GB/T 34672 化学试剂 离子色谱法测定通则 GB/T 6678 化工产品 采样总则 GB/T 6680 液体化工产品采样通则 SJ/T 11638 电子化学品中颗粒的测试方法 SJ/T 11635-2016 电子工业用显影液中碳酸根离子的测定 自动电位滴定法 SJ/T 11508-2015 集成电路用正胶显影液 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义 缩略语 下列缩略语适用于本文件。 HDPE：High Density Polyethylene，高密度聚乙烯 技术要求 外观 透明澄清液体。 色度 半导体显示用高碱浓度负胶显影液的色度不大于50Hazen单位（铂-钴色号）。 主要成分 半导体显示用高碱浓度负胶显影液的主要化学成分含量应符合表1的规定。 表1 主要化学成分含量 % 项目 指标 氢氧化钾的含量 8.38±0.10 理化性能 半导体显示用高碱浓度负胶显影液的理化性能，应符合表2的要求。 表2 理化性能 项目 要求 pH（1%水溶液） 12.5±0.5 密度 （1.100±0.100）g/cm3 浊点 ＞35℃ 颗粒数 半导体显示用高碱浓度负胶显影液的颗粒数应符合表3的规定。 表3 颗粒数 单位为个每毫升 项目 指标 颗粒（≥ 0.5 μm）数 ≤ 100 注：颗粒数的管控指标可由供应商和客户协商决定。 阴离子杂质含量 半导体显示用高碱浓度负胶显影液的阴离子杂质含量应符合表4的规定。 表4 阴离子杂质含量 单位为微克每克 项目 指标 碳酸根（CO32-）含量 ≤ 50.0 氯离子（Cl-）含量 ≤ 1.0 注：阴离子杂质的管控指标可由供应商与客户协商决定。 金属杂质含量 半导体显示用高碱浓度负胶显影液的金属杂质含量应符合表5的规定。 表5 金属杂质含量 单位为微克每克 项目 指标 银（Ag）含量 ≤ 1.0 铝（Al）含量 ≤ 1.0 砷（As）含量 ≤ 1.0 金（Au）含量 ≤ 1.0 硼（B）含量 ≤ 1.0 钡（Ba）含量 ≤ 1.0 铍（Be）含量 ≤ 1.0 铋（Bi）含量 ≤ 1.0 钙（Ca）含量 ≤ 1.0 镉（Cd）含量