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一种差动变压式线位移传感器校准装置.pdfVIP

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  • 2023-10-09 发布于四川
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一种差动变压式线位移传感器校准装置.pdf

    本实用新型公开了一种差动变压式线位移传感器校准装置，它包括机架、精密滚珠丝杆组件、组合滑台、弹性活动夹具、传感器安装座、激光干涉仪、上位机。上位机根据被校传感器量程结合相关校准规范控制精密滚珠丝杆组件直线运动；传感器安装座安装在具有多维运动的组合滑台上方，被校传感器放置在该传感器安装座的V形槽上并用弹性活动夹具夹紧，被校传感器的测杆与滑块基座定位通孔端面接触；调整组合滑台四维方向位置，使得激光干涉仪的光轴在被校传感器测量轴的延长线上；激光干涉仪实时测量精密滚珠丝杆组件上的滑块位移与被校移传感器位

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210625569 U (45)授权公告日 2020.05.26 (21)申请号 20192

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