内燃机 摇臂滚轮销、活塞销类金刚石涂层（DLC）工艺规范.pdfVIP

ICS 27.020 CCS J 93 团 体 标 准 T/ CICEIA/CAMSXXXX—XXXX 内燃机摇臂滚轮销、活塞销类金刚石涂层 （DLC） 工艺规范 Internal combustion engines- Diamond-like carbon coating DLC process （ ） specifications for roller pin and piston pin （征求意见稿） 在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。 20XX-XX-XX 发布 20XX-XX-XX 实施 中国内燃机工业协会 中国机械工业标准化技术协会 发 布 T/ CICEIA/CAMSXXXX—XXXX 内燃机摇臂滚轮销、活塞销类金刚石涂层（DLC） 工艺规范 1 范围 本文件规定了内燃机摇臂滚轮销、活塞销类金刚石涂层（DLC）的术语和定义、涂层设备、技术要 求、工艺规范、检验方法。 本文件适用于内燃机摇臂滚轮销、活塞销类金刚石涂层（DLC）涂层工艺。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 10610-2009 产品几何技术规范（GPS）表面结构 轮廓法 评定表面结构的规则和方法 GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件 GB/T 230.1-2018 金属材料洛氏硬度试验 第1 部分：试验方法 GB/T 3163-2007 真空技术术语 GB/T 25898-2010 仪器化纳米压入试验方法 薄膜的压入硬度和弹性模量 GB/T 30707-2014 精细陶瓷涂层结合力试验方法 划痕法 GB/T 31563-2015 金属覆盖层 厚度测量 扫描电镜法 JB/T 7707-1995 离子镀硬膜厚度试验方法球磨法 JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备 ISO 22462:2020 金属和其他无机涂层 化学转化涂层摩擦系数测量的试验方法 VDI 3198-1992 冷成型刀具的CVD 和PVD 涂层 3 术语和定义 GB/T 3163-2007界定的术语和定义适用于本文件。 3.1 涂层 coating 涂层是厚度超过1 μm 并具有特定性能的覆盖层。 3.2 类金刚石涂层 diamond- like carbon coating 3 类金刚石涂层是含有大量sp 键亚稳态的非晶碳涂层。 3.3 含氢非晶碳 hydrogenated amorphous carbon 含氢非晶碳是在沉积过程中采用了含氢气体参与反应的而形成的类金刚石，简称：a-C:H。 3.4 离子清洗 Ion cleaning 离子清洗是利用等离子体对基片表面进行轰击的清洗方法。 3.5 打底层 base- layer 3 T/ CICEIA/CAMSXXXX—XXX