等离子体增强化学气相沉积技术基础.pdfVIP

§1.1 等离子体概论 §1.1.1 等离子体的基本概念和性质 近代科学研究的结果表明，物质除了具有固态、液态和气态的这三种早为人们熟悉的形态之外，在一定 的条件下，还可能具有更高能量的第四种形态 ——等离子体状态。例如通过加热、放电等手段，使气体分 子离解和电离，当电离产生的带电粒子密度达到一定的数值时，物质的状态将发生新的变化，这时的电离 气体已经不再是原来的普通气体了。由于这种电离气体不管是部分电离还是完全电离，其中的正电荷总数 始终和负电荷总数在数值上是