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尘埃粒子计数器的校准方法 刘悦 【摘要】尘埃粒子计数器主要用来评定洁净室洁净度等级、检测过滤器的过滤效 率及洁净织物的发尘量等.尘埃粒子计数器的量值溯源因其特殊性，存在很大难度，多 年来国内外都在致力于尘埃粒子计数器的校准研究.该文就研究以及编写的尘埃粒 子计数器国家计量校准规范，来阐述尘埃粒子计数器的校准方法. 【期刊名称】《上海计量测试》 【年(卷)，期】2010(000)004 【总页数】4页(P7-10) 【关键词】尘埃粒子计数器;校准;量值溯源;标准粒子;标准粒子发生装置 【作者】刘悦 【作者单位】上海市计量测试技术研究院 【正文语种】中文 【中图分类】TP3 0引言 尘埃粒子计数器是一种在洁净领域应用广泛的重要仪器，主要用于评定洁净室洁净 度等级，还可用来检测过滤器的过滤效率、洁净织物的发尘量。使用的行业包含电 子厂、药厂、医疗器械厂以及检测实验室等等。 尘埃粒子计数器是利用光的散射原理［1］对空气中的尘埃粒子数目和粒径进行计量， 工作原理（图1）:来自光源的光线被透视镜组聚焦于检测区域，尘埃粒子计数器 通过采样泵使采样空气通过该区域。当一个尘埃粒子（简称粒子）通过时，便把入 射光散射一次，产生一个光脉冲信号，经过放大、甄别，筛选出需要的信号，再通 过计数系统显示出来，电脉冲信号的高度反映粒子的大小，信号的数量反映了粒子 的个数。主要关注的技术指标就是粒子的大小和个数。 图1尘埃粒子计数器的工作原理 粒子的大小可以溯源到标准粒子，通常采用聚苯乙烯塑料乳胶小球（PLS : Polymer Latex Suspensions），可通过扫描电镜等进行尺寸溯源。但是粒子的个 数，很难有一个可靠的量值溯源方式。尘埃粒子计数器检测到的粒子难以捕集，没 有有效的方式清点个数，也无法称重。即使很好的执行采样的每一个步骤，不同尘 埃粒子计数器的计数显示仍然会有很大的不同。主要原因是各家尘埃粒子计数器在 设计与性能方面存在差异，所以尘埃粒子计数器的校准一直以来是国内外研究的热 点和难点。 1国内外的校准方法比较 国外大量文献［2-5 ］提到了计数效率这一概念。所谓计数效率，即为尘埃粒子计数 器显示的粒子数与从尘埃粒子计数器进气口采样气溶胶中得到的标准粒子数的比值。 将最小可测粒径v 0.2 pm的仪器归为A类，20.2 pm的归为B类。A类粒子计 数器是凝聚核计数器或具有不低于同等性能的类似计数器，以A类计数器为标准 即可得到B类计数器的计数效率，计数效率的具体指标：尘埃粒子计数器对于最 小可测粒径下计数效率应在30% ~ 70%范围内，1.5倍至2倍最小可测粒径下计 数效率应在90%~110%范围内。但是A类粒子计数器的溯源问题同样没有解决， 仅仅只是大家的默许认可，并未能成为基准。文献同时提到了粒径档响应电压，该 方法需将多通道脉冲幅度分析仪连接到待检尘埃粒子计数器的输出端（前置放大器 的输出端或主要放大器的输入端）。用标准粒子发生装置产生适合不同粒径的标准 粒子的实验用气溶胶，分析不同粒径档对应的脉冲信号，做出脉冲频率曲线，确定 不同标准粒子的响应电压。还提到了利用尘埃粒子计数器以比较法进行校准。 20世纪70年代，我国研制了国内第一台尘埃粒子计数器，开始了对尘埃粒子计 数器以及校准方法的研究。1985年制定7GB6167.1 -GB6167.2 - 85《尘埃粒 子计数器性能实验方法》，2009年进行修订［6］。该标准主要参考国外的相关文献， 提出了计数效率、粒径响应电压以及比较法。对生产企业的产品出厂调试、产品质 量的提高有着非常积极的意义，但不适合计量检定部门开展量值溯源（首先计量检 定部门的量值溯源工作是不允许拆卸被校准设备的）。依据尘埃粒子计数器的量值 溯源需求，1988年制定了 JJG547-88《尘埃粒子计数器》，利用多分散标准粒子 检定尘埃粒子计数器的粒径分布准确性、单分散粒子测量离散度。该规程回避了直 接对粒子浓度的检定，采用分部法，其所有指标均为间接值。2008年经过多年努 力修订了该规程，变更为JJF1190-2008《尘埃粒子计数器》［7］。该规范的主要技 术指标包括外观要求、绝缘电阻、电气强度、自净时间、流量误差、计时误差、重 复性、粒径分布误差、粒子浓度示值误差，覆盖了该计量器具的基本性能，同时也 考虑到检定工作的科学性和可操作性等因素。该规范创新提出，用标准粒子发生装 置产生标准粒子气溶胶，以精密尘埃粒子计数器作为标准器，校准一直以来回避但 又极其重要的指标：粒子浓度示值误差。尘埃粒子计数器校准的关键是标准粒子发 生装置、精密尘埃粒子计数器以及数据处理。 2气溶胶发生装置 气溶胶的发生方式有液体雾化、悬浊液的雾化、固体粉末发尘和冷凝法。校准中选 择的是悬浊液的雾化。雾化含有已知尺寸的单分散标准粒子的