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薄膜材料成分分析方法; 到目前为止，对薄膜构造和成分分析的争论方法已达一百多种。但它们具有共同的特征：利用一种探测束——如电子束、 离子束、光子束、中性粒子束等，从样品中放射或散射粒子波，他们可以是电子、离子、中性粒子、光子或声波，检测这些粒子的能量、动量、荷质比、束流强度等特性，或波的频率、方向、强度、偏振等状况，来分析材料化学组成、原子构造、原子状态、电子状态等方面的信息。 ;薄膜成分分析方法介绍 ;探测粒子;探测粒子;常用成分分析方法介绍;离子作为探测束的外表分析方法;离子散射谱分析; 离子散射谱(ISS)分析; 特点：
1、入射离子的质量越轻，碰撞后
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