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多晶硅还原炉的硅芯检测装置及多晶硅还原炉.pdfVIP

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  • 2023-10-14 发布于四川
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多晶硅还原炉的硅芯检测装置及多晶硅还原炉.pdf

    本实用新型提供一种多晶硅还原炉的硅芯检测装置及多晶硅还原炉，多晶硅还原炉包括硅芯以及电源，电源通过第一电路与硅芯电性连接，用于向硅芯提供启动还原反应所需的电能，其中硅芯检测装置包括：断路器，设于第一电路上，用于根据接收到的开启信号或者关闭信号，接通第一电路或者断开第一电路；检测器，用于检测得到硅芯的硅芯状态信息，硅芯状态信息包括以下至少一项：硅芯绝缘值、硅芯接地电流值以及硅芯电阻值；控制器，与检测器电性连接，用于接收检测器发送的硅芯状态信息并将硅芯状态信息转发至交互端；检测器与断路器电性连接，控

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219831291 U (45)授权公告日 2023.10.13 (21)申请号 202321232182.6 G01R 27/02 (2006.01)

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