新型光电传感器演示文稿.pptVIP

传感器原理及应用 反射式强度调制 由多根光纤束组成入射、接收光纤，被测物体将光束反射回光纤，经反向传输后由光敏器件接收。光强的大小随被测物体的特征不同而不同。 特征包括： 被测物体与光纤端面的距离； 被测物体表面的光洁度（反射率）； 相对倾角。 特点：非接触、探头小、线性度好、 频响高、测量范围在100μm以内。 ⑵ 光的强度调制 X 入射 光 源 S 出射 透镜 接 收 D 被测物体 液 面 测 量 折射率调制（略） 第9章??新型光电传感器 本文档共139页；当前第95页；编辑于星期三\8点34分 传感器原理及应用 法拉第磁光效应 (又称磁致旋光效应) 当线偏振光通过处于磁场下的透明介质时，光线的偏振面（矢量振动方向）将发生偏转，偏转的角度θ与磁感应强度B以及介质的长度L成正比： Θ = KBL K-为物质常数。 ⑶ 偏振态调制 透明介质 B L 偏振态调制主要基于人为旋光现象，如：法拉第磁光效应、克尔电光效应、弹光效应等实现的。 第9章??新型光电传感器 θ 本文档共139页；当前第96页；编辑于星期三\8点34分 传感器原理及应用 法拉第磁光效应 如稀土玻璃的常数 K= 0.13～0.27/（GS.cm）； 1T(特斯拉）= 104 GS 处于0.1T磁场下，长10cm的稀土玻璃棒，可使偏振光的光矢量偏转22°～ 45°，利用这种原理可制成光纤电流传感器。 导体上绕N匝光纤，光矢量旋转的角度与导线电流有关 （ B ∝ I） B =μI / 2πα θ =VdN I ，Vd 为常数 ⑶ 偏振态调制 第9章??新型光电传感器 光纤 S D 检偏器 导体 电流 本文档共139页；当前第97页；编辑于星期三\8点34分 传感器原理及应用 第9章??新型光电传感器 ⑶ 偏振态调制 本文档共139页；当前第98页；编辑于星期三\8点34分 传感器原理及应用 一般压力、张力、温度可以改变光纤的长度（几何尺寸）； 同时由于光弹效应，光纤折射率n 也会由于应变而改变，这些物理量可以使光纤输出端产生相位变化。 借助干涉仪将相位变化转换为光强的变化。 干涉系统的种类很多 ⑷ 相位调制 马赫——泽德干涉仪原理 第9章??新型光电传感器 常见的马赫——泽德 （Mach-Zehnde) 本文档共139页；当前第99页；编辑于星期三\8点34分 传感器原理及应用 上壁厚 下壁厚 外径 第9章??新型光电传感器 玻璃管的平均外径φ12mm；壁厚1.2mm； 要求测量精度为外径±0.1mm；壁厚±0.05mm。 利用CCD配合适当的光学系统，对玻璃管尺寸进行监测； 实际尺寸：上壁厚d1、下壁厚d2、外径D β 为成像物镜的放大倍率； t 为CCD像元尺寸； 上壁、下壁、外径的像元个数（即脉冲数）分别为： n1（上壁）、 n2 （下壁）、 N（外径） 本文档共139页；当前第63页；编辑于星期三\8点34分 传感器原理及应用 根据已知条件（玻璃管外径φ12mm），选择光学系统的放大率β为0.8倍，玻璃管的像大小为9.6mm； 产品的测量精度要求反映在像面上的外径（0.1mm ）为±0.08mm，壁厚（±0.05mm ）为0.04mm； 根据CCD测量精度要求，最小尺寸0.04mm，必须要大于两个CCD光敏元空间尺寸。 第9章??新型光电传感器 给定线阵TCD132D （1024位）光敏元间距尺寸为14μm,器件像元总宽度为1024 ×0.14mm=14.3mm，大于成像外径。最小尺寸为0.04mm 0.014mm×2=0.028mm，满足要求 . TCD132D光敏元空间尺寸 （ 14 μm ×2） 40μm 本文档共139页；当前第64页；编辑于星期三\8点34分 传感器原理及应用 9.2.6 CCD传感器的应用 第9章??新型光电传感器 工件尺寸测量CCD测试设备 CCD测试与绘图设备 本文档共139页；当前第65页；编辑于星期三\8点34分 传感器原理及应用 9.2.6 CCD传感器的应用 第9章??新型光电传感器 双镜面直接检测产品 晶片尺寸测量 本文档共139页；当前第66页；编辑于星期三\8点34分 传感器原理及应用 CCD固态图像传感器作为摄像机或像敏器件，取代摄像装置的光学（电子束扫描）扫描系统； 与其它摄像器件相比，尺寸小、价廉、工作电压低、功耗小，且不需要高压。 9.2.6 CCD传感器的应用 第9章??新型光电传感器 CCD传感器应用时是将不同光源与透镜、镜头、光导纤维、滤光镜及反射镜等各种光学元件结合使用。 装配轻型摄像机、摄像头、工业监视器。 本文