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本发明公开了一种用于测量深紫外光致发光谱的显微光路耦合系统和方法,包括:由两个或更多个紫外透镜组成的光束缩束模组,设置在激光光路上,用于将深紫外激光光束变细;一个深紫外窄条状45°反射镜,位于显微光路旁侧,利用其边缘将激光反射进入显微光路;一个反射式物镜,将窄条状45°反射镜反射过来的激光汇聚到样品上,并收集样品的荧光信号,送入收集光路进行探测。本发明可用于深紫外光致发光光谱的显微光路耦合,实现短至200nm的深紫外光致发光谱的显微测量,并最大限度地降低样品荧光信号的损失,比起非显微的深紫外光致
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116879171 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202310931355.1
(22)申请日 2023.07.27
(71)申请人 北京大学
地址 100871
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