一种温补型声表面波谐振器及制作方法.pdfVIP

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2023-10-14 发布于四川
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一种温补型声表面波谐振器及制作方法.pdf

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本发明公开了一种温补型声表面波谐振器及制作方法，涉及声表面波谐振器技术领域。在第一温度补偿层远离叉指结构层的一侧增加第一插入层，可以形成沿着第一方向不同的声速传播区域，在平行指条的方向上产生活塞模式的效果，在不同介质的交界面上产生对横向模式杂散声波的反射，且不影响主声学传播模式，有效抑制了横向杂散模式，本技术方案通过设置边缘刚好与假指末端位置齐平的插入层，使声波传播在孔径区域与假指区域时具有更大的声速差，从而进一步抑制横向模式；第二温度补偿层相对于第一温度补偿层的密度较小，相对疏松的第二温度补偿

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116886067 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310931447.X (22)申请日 2023.07.27 (71)申请人浙江星曜半导体有限公司地址 3