一种逐点抛光和原位腐蚀组合的亚表面裂纹深度检测方法.pdfVIP

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2023-10-14 发布于四川
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一种逐点抛光和原位腐蚀组合的亚表面裂纹深度检测方法.pdf

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本发明公开了一种逐点抛光和原位腐蚀组合的亚表面裂纹深度检测方法，包括以下步骤：对待测材料进行抛光去除速率标定；确定测试点数量n及阵列形式，并计算每个测试点的相对坐标，选取抛光垫及抛光试剂对试样进行逐点抛光，得到抛光坑；将抽吸腐蚀管对准抛光点抛光完成后所对应的抛光坑中心，注入腐蚀液，进行原位腐蚀。本发明采用表层抛光技术，能够在保留抛光区域附近基准面的信息的前提下，对大面积裂纹进行形貌的观察以及深度的检测，提高了检测效率。本发明通过抛光工位和腐蚀工位的结合，采用表层抛光技术和化学蚀刻技术,实现了硬脆

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116879294 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310874601.4 (22)申请日 2023.07.17 (71)申请人大连理工大学