大影响激光干涉仪测量精度的因素.docx

大影响激光干涉仪测量 精 度 的 因 素 This model paper was revised by LINDA on December 15, 2012. 6 大激光干涉仪影响因素，提高数控机床检测准确度全靠它了！ 激光干涉仪是精度最高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定义，可溯源 至国家标准， 通过与不同的光学组件结合，可以实现对各类机床的线性、角度、平面度、 直线度(平行度)、垂直度、回转轴等参数的精密测量，并能对设备进行速度、加速度、 频率-振幅、时间-位移等动态性能分析，在相关软件的配合下，可自动生成误差补偿方 案，为设备误差修正提供依据。 但是我们在使用中往往会出现