基于法布里-珀罗干涉效应的多孔硅乙醇传感器的中期报告.docxVIP

基于法布里-珀罗干涉效应的多孔硅乙醇传感器的中期报告 摘要： 本研究旨在开发一种基于法布里-珀罗干涉效应的多孔硅乙醇传感器。本报告介绍了我们在中期阶段所取得的成果，包括传感器结构和工作原理的设计，制备多孔硅膜的过程，以及基于乙醇检测的实验结果。 传感器结构和工作原理： 传感器采用光纤法布里-珀罗干涉仪结构，其中一端覆盖有多孔硅膜（Porous silica film）。当乙醇分子进入多孔硅膜中时，由于乙醇分子存在的折射率不同于多孔硅膜和空气，光线进入膜中后会出现反射和干涉现象，导致输出光信号的强度发生变化。通过监测输出光信号强度的变化，可以推断出乙醇的浓度。 制备多孔硅膜的过程： 制备多孔硅膜采用溶胶-凝胶法和电化学腐蚀法相结合。首先将硅烷（SiH4）和氧化铝（Al2O3）混合，得到溶胶，再通过凝胶化反应将溶胶转化成凝胶。接着，将凝胶烘干和热处理，得到多孔硅膜。最后，通过电化学腐蚀法控制多孔硅膜的孔径大小和厚度。 基于乙醇检测的实验结果： 在实验中，将不同浓度的乙醇溶液涂覆在多孔硅膜表面，通过法布里-珀罗干涉仪测量输出光信号的强度。实验结果表明，随着乙醇浓度的增加，输出光信号强度呈现下降趋势，且幅度随浓度增加而增加。这证明了传感器的可行性，并为后续工作奠定了基础。 未来工作： 下一步将进一步研究优化制备多孔硅膜和传感器结构，提高传感器响应速度和检测灵敏度。同时，将进行液态乙醇和气态乙醇的检测实验，验证传感器的实用性和稳定性。