位移传感器资料.ppt

4.2.4 光栅位移传感器的特点及应用 由于莫尔条纹是明暗交替的，当莫尔条纹上下移动时，只要用光敏元件检测出来明、暗的变化，就可得知位移的大小，实现测量结果的二值化。另外莫尔条纹是由光栅的大量刻线形成的，对刻线误差有平均作用，能在很大程度上消退刻线不均匀引起的误差。 由于光栅位移传感器测量精度高〔区分率为0.1μm〕、动态测量范围广〔0～1000mm〕，可进展无接触测量，而且简洁实现系统的自动化和数字化，因而在机械工业中得到了广泛的应用，特殊是在量具、数控机床的闭环反响掌握、工作主机的坐标测量等方面，光栅位移传感器都起着重要的作用。图4-12 所示为光栅位移传感器在机床加工方面的应用实例。