一种二氧化钛薄膜光波导层及其制备方法.pdfVIP

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2023-10-18 发布于四川
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一种二氧化钛薄膜光波导层及其制备方法.pdf

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本发明提供了一种二氧化钛薄膜光波导层及其制备方法，属于光电转换技术领域。本发明使用钛酸丁酯、三乙醇胺、水和乙醇为原料制备溶胶，通过浸泡和提拉，在衬底材料的结构面粘附溶胶，能够使溶胶的形状与衬底材料的结构面相同，然后通过加压热处理使溶胶发生化学反应，生成二氧化钛，从而在衬底材料的结构面形成所需的各种异质结构的二氧化钛薄膜光波导层；该方法制备工艺简单，生产效率高，制造成本低，有利于规模化量产，满足器件应用需求。实施例的结果显示，本发明提供的制备方法制备得到的二氧化钛薄膜光波导层的厚度为100～120

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116892021 A (43)申请公布日 2023.10.17 (21)申请号 202310706596.6 (22)申请日 2023.06.15 (71)申请人中国科学院电工研究所地址 10