柔性衬底材料清洗设备.pdfVIP

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2023-10-18 发布于四川
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柔性衬底材料清洗设备.pdf

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本发明公开了一种柔性衬底材料清洗设备，包括依次设置的滚刷装置、第一喷淋装置、第一风切风干装置、第一隔离腔室、激光清洗装置、第二隔离腔室、第二喷淋装置、DI喷淋装置、第二风切风干装置和光清洗装置，激光清洗装置位于激光清洗腔室内，激光清洗腔室位于第一隔离腔室和第二隔离腔室之间，由第一隔离腔室和第二隔离腔室将激光清洗腔室与外部环境隔离。本发明的柔性衬底材料清洗设备，加入激光雷射清洗，对柔性衬底材料表面粘附性强的颗粒、有机物、脂类均有清洗效果，属于未接触类型且因杂质与柔性衬底材料的巨大差异，而且不容易损

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116889996 A (43)申请公布日 2023.10.17 (21)申请号 202310725947.8 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2023.06.