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公开了集成电路器件。所述集成电路(IC)器件包括:下电极,在基底上,下电极包括包含第一金属的含金属膜;介电膜,覆盖下电极;以及上电极,面向下电极,介电膜在上电极与下电极之间。下电极包括:主下电极层,不包括与第一金属不同种类的金属掺杂剂,主下电极层与介电膜间隔开;以及界面下电极层,与介电膜接触,并且包括第一金属掺杂剂和第二金属掺杂剂。第一金属掺杂剂处于第一价态并且包括不同于第一金属的第二金属。第二金属掺杂剂处于小于第一价态的第二价态,并且包括不同于第一金属和第二金属的第三金属。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116896872 A
(43)申请公布日 2023.10.17
(21)申请号 202310261597.4
(22)申请日 2023.03.17
(30)优先权数据
10-2022-0039178
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