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本发明的目的在于提供一种静电吸盘，其能够提高处理对象物的面内温度分布的均匀性。提供一种静电吸盘，具备：基座板，包含冷媒可通过的涡旋状的连通路；第1加热器元件，包含径向及周向上排列的多个第1区；及多个第1供电端子，向多个第1区供电，多个第1区包含发热的第1加热器线和向第1加热器线供电的一对第1供电部，一对第1供电部电连接于多个第1供电端子，多个第1供电端子包含：第1环状部分，配置在第1假想圆上；及第2环状部分，位于与第1环状部分相比更靠近内侧的位置且配置在第2假想圆上，当沿着积层方向观察时，在第1
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116895591 A
(43)申请公布日 2023.10.17
(21)申请号 202310302696.2 H01J 37/32 (2006.01)
(22)申请日 2023.03.
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