一种碳化硅基异质复合衬底材料.pdfVIP

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2023-10-21 发布于四川
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一种碳化硅基异质复合衬底材料.pdf

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一种碳化硅基异质复合衬底材料，包括基底层，中间层，表面层，所述基底层为碳化硅，所述中间层为多晶硅和二氧化硅，所述表面层为铌酸锂或钽酸锂；所述碳化硅基异质复合衬底材料的面型数据为：Warp＜50μm，BOW＜40μm；键合强度高达2J/m2以上。本申请选用碳化硅作为基底层制备复合衬底材料，能利用其杰出的机械性能、高化学稳定性、高载流子迁移速率、高热导率、高声速、耐高温、耐腐蚀等特性，从而使复合衬底在高声速、大带宽、高功率方面有质的提升；本申请制备得到的复合衬底具有低应力和高键合强度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116916731 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202311009640.4 (22)申请日 2023.08.11 (71)申请人山东天岳先进科技股份有限公司地址