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西安交通大学本科毕业设计（论文）
摘 要
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论文题目：具有亚稳态特性的纳米金属多层膜力学性能研究
摘 要
近年来，纳米金属多层膜由于其独特的力/电综合性能，被广泛应用于大规模集成电路和电路互连结构中，其在加工制造复杂应力与高温服役环境下的力学性能决定了其在电路中的服役可靠性。本论文采用磁控溅射法沉积得到总厚度约2 μm的两种不同晶体组元材料、不同调制比η（非晶层与晶体层厚度之比）的Ag/Cu-Zr、Cu/Cu-Zr晶体/非晶多层膜，通过高温纳米压痕硬度测试重点研究了其高温力学性能，并将其与室温沉积态的硬度结果进行对比，得出了晶体/非晶多层膜力学性能随温度
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