复习超大规模集成电路vlsi 1.pdfVIP

超大规模 技术基础 主讲: 暨南大学电子工程系 超大规模 技术基础 课程简介 后端工艺 IC制造： 测试与封装 （第十章） 无源元件 （电阻、电容、电感） 工艺集成： 器件 有源元件 （双极、单极器件） （第九章） 薄膜成型 外延膜、电介质膜、多晶硅膜、金属膜 （第八章） 关键技术 氧化膜 （第三章） 氧化 （第三章） 光刻 （第四章） 技术 刻蚀 （第五章） 扩散 （第六章）