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10微米线宽PCB应用的数字光刻实验研究
摘 要
在当今这个电子信息产品高速发展和普及的时代,对于个人电子产品,如智能移动设备和高精度电子设备的需求日渐增大。而想要妥善应对这种庞大的需求,最重要的是改进和发展印刷电路板(PCB)光刻技术。
为了解决市场对高精度PCB生产效率和生产工艺提升的需求问题,有必要对传统的PCB制造工艺和精密度做出相应的改良。而想要在生产上想要实现PCB的高精度,不仅要求导线线宽的细小化,在制作工艺上也要求精度化,尽可能减少生产过程中所造成的误差。传统的PCB光刻技术采用的是汞灯接近式曝光的方式和使用掩膜的数字光刻技术,不仅效率低下,
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