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本实用新型涉及一种半导体加工研磨设备,包括底座,所述底座底面的四角均固定连接有支撑腿,所述底座的顶面固定连接有连接架,所述连接架内侧顶面的左右侧均固定连接有第一气缸,两个所述第一气缸的下端共同固定连接有防尘框,通过第一气缸、防尘框、吸尘器、连接管和吸嘴的设置,可将半导体套环防尘框内,并将防尘框内的粉尘处理掉,使打磨时产生的粉尘在防尘框内难以飘散到外部,对工作人员的身体健康提供保障,通过连接板、调节螺栓、安装板、转动轴、固定板、插槽、插杆、拉板和弹簧的设置,便于对夹持固定的半导体进行翻面,从而实现
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219882115 U
(45)授权公告日 2023.10.24
(21)申请号 202320725763.7 B24B 37/00 (2012.01)
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