一种垂直探针及其制作工艺.pdfVIP

下载本文档

4
0
约1.36万字
约 14页
2023-10-25 发布于四川
举报
版权申诉

一种垂直探针及其制作工艺.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请提供一种垂直探针及其制作工艺，涉及半导体测试技术领域。所述垂直探针的制作工艺包括：按照预设探针图形设计制备基底；在所述基底上电镀金属层，并进行等离子抛光处理；通过激光设备或专用压铸治具进行垂直探针的形变馈缩部中至少两个折弯部的加工；利用专用磨针设备对针头部或针尾部进行塑形，得到垂直探针，其中所述垂直探针包括所述针头部、所述形变馈缩部和所述针尾部，所述形变馈缩部包括至少两个所述折弯部，所述折弯部包括相邻设置的第一折弯部和第二折弯部，所述第一折弯部的折弯方向与所述第二折弯部的折弯方向相反，提升

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116930575 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202310921549.3 (22)申请日 2023.07.26 (71)申请人上海泽丰半导体科技有限公司地址