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本发明公开了一种发光二极管外延片及其制备方法、LED,所述发光二极管外延片包括衬底,所述衬底上依次设有复合层、非掺杂GaN层、N型GaN层、多量子阱层、电子阻挡层和P型GaN层;所述复合层包括依次沉积在所述衬底上的SiCN层、Mg掺杂BGaN层和Mg掺杂InGaN层。本发明提供的发光二极管外延片能提高GaN晶体质量,降低产生裂纹率,提升发光二极管的发光效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116936696 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202311029088.5
(22)申请日 2023.08.16
(71)申请人 江西兆驰半导体有
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