《传感器原理》第9章 湿敏传感器.pptVIP

本章内容安排 9.1 湿度的基本概念 9.2 湿度传感器的特性参数 9.3 湿度传感器的分类 9.4 陶瓷式湿度传感器 9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 9.6 半导体结型和MOS型湿度传感器 9.7 固体电解质界限电流式高温湿度传感器 9.8 溶性电解质湿度传感器 湿度的基本概念 9.1.1 相对湿度和绝对湿度 绝对湿度指的是大气中水汽的密度，即单位大气中所含水汽的质量。大气的绝对湿度跟当时气温下的饱和水气压的百分比称为大气的相对湿度，相对湿度描述比较方便，因此，一般采用相对湿度来描述空气的干湿程度。 9.1.2 露点 露点就是指使原来未饱和的水汽变成饱和水汽所必须降低到的温度。可以用露点表示空气湿度的大小。露点与相对湿度的对应关系如图9-1所示。 图9-1 温度-相对湿度-露点的对应关系 湿度传感器的特性参数 1．湿度量程 湿度传感器能够比较精确测量的环境相对湿度（或绝对湿度）的最大范围，称为湿度敏感器件的湿度量程。 2．感湿特征量——相对湿度特性曲线 湿度传感器都有其自身的感湿特征量，例如电阻、电容、击穿电压、沟道电阻等。湿度敏感器件的感湿特征量随环境相对湿度（或绝对湿度）的变化曲线，称为器件的感湿特征量——环境湿度特性曲线（简称感湿特性曲线）。图9-2是TiO2-V2O5湿度敏感器件的感湿特性曲线。 图9-2 TiO2-V2O5湿度敏感器件的感湿特性曲线 3．灵敏度 湿度敏感器件的灵敏度就其物理含义而言，应当反映相对于环境湿度的变化器件感湿特征量的变化程度，因此，它应当是器件的感湿特性曲 线的斜率。在器件感湿特性曲线是直线的情况下，用直线的斜率来表示湿度敏感器件的灵敏度是恰当而可行的。 4．湿度温度系数 湿度敏感器件的湿度温度系数是表示器件的感湿特性曲线随环境温度而变化的特性参数。在不同的环境温度下，器件的感湿特性曲线是不同的。显然，器件感湿特性曲线随环境温度的变化越大，由感湿特征量所表示的环境相对湿度与实际上的环境相对湿度之间的误差就越大。因此，环境温度的不同直接影响器件的测湿误差。图9-3给出了Co3O4-TiO2湿度敏感器件的感湿特性曲线随环境温度的变化情况。 图9-3 Co3O4-TiO2湿敏传感器的温度特性 5．响应时间 湿度敏感器件的感湿特征量是随环境相对湿 度而变化的。当环境湿度发生变化时，湿度敏感器件将随之而发生吸湿或脱湿以及动态平衡过程。完成这一过程需要一定的时间，不同的湿度敏感器件完成这一过程所需要的时间是不同的。湿度敏感器件的响应时间就是表示器件完成这一过程所需时间的特性参数。图9-4给出了K2O-Fe2O3湿度敏感器件的响应特性曲线。 6．湿滞回线和湿滞回差 一个湿度敏感器件，不仅在吸湿和脱湿两种情况下的响应时间有所不同，而且其感湿特性曲线也不相重复。在吸湿和脱湿情况下，两个感湿特性曲 图9-4 K2O-Fe2O3湿度敏感器件的响应特性曲线 线一般可形成一个回线。湿度敏感器件的这一特性称为湿滞特特性，而将上述回线称为湿滞回线。 图9-5中给出了氯化锂（LiCl）湿敏电阻在15℃时的湿滞回线。 图9-5 氯化锂（LiCl）湿度敏感器件的湿滞特性 湿度传感器的分类 湿度传感器的种类很多，原理和特性也各异。测量干湿空气的重量可以分析空气的绝对湿度，这一原理还用来制造高精度的湿度基准。动物毛发随湿度增加而伸长，这是毛发式湿度计的原理，根据这一原理选择两片随湿度膨胀特性不同的材料叠加，可制成双片式湿度传感器。这种原理还被应用于光纤式湿度传感器。根据微波在不同湿度的空气中衰减的不同，研制了微波湿度传感器；根据不同湿度的空气对红外的吸收不同可制成红外湿度传感器。此外，还有干湿球式湿度传感器、双压式湿度传感器等。 湿度传感器按信号转换方式可以分为电阻式、电容式、频率式等；按敏感材料的性质可分为电解质型、陶瓷式、有机高分子型、半导体型。 陶瓷式湿度传感器 9.4.1 陶瓷电阻式湿度传感器 1．TiO2-SnO2系复合氧化物半导体陶瓷湿度传感器 TiO2-SnO2湿敏组件多为厚膜组件，具有灵敏度高、响应快、稳定性好、工艺过程实现简单等特点。