(优)光学薄膜透反射率的常用测量方法文档.pptVIP

光学薄膜的检测;光学薄膜透、反射率的常用测量方法;测试前要进行系统光谱校正； 光学薄膜透、反射率的常用测量方法 红外光电接收器：硫化铅光敏电阻、红外半导体传感器或热电偶 单色仪：由色散原件、狭缝机构以及色散原件的扫描驱动； 光谱分析测试系统-反射率的困难 照明系统：光束整形与会聚； 吸收带内：R=1-T-A； 各种薄膜器件对反射率测量的测量范围和精度多有不同的要求。 各种薄膜器件对反射率测量的测量范围和精度多有不同的要求。 两个信号进行比较得到透射率； 非常规光谱特性的测量，需要自己设计测量附件进行测量。 利用激光谐振腔测试激光高反射镜的反射率 测试样品放于b处，测试信号I2，则R=(I1I2)1/2 测试样品后表面的影响，测试透过率时不可避免会引入后表面的影响，需要通过计算消除此种影响。 V-W型测试：参考样品先放于位置a 处，测试信号I1； 对光源的稳定性以及系统的稳定性要求极高； 单次反射时参考样品反射率影响测试精度； 光谱透射、反射特性是光学薄膜器件最基本的光学特性，因此光谱仪也是薄膜器件检测中最常用到的检测设备。;单色仪型分光光度计原理;原理;双光路测试;干涉型光谱分析系统;光谱仪测试一般步骤;偏振测量;光源为部分偏振光时，薄膜偏振特性的测量;图（b）放置：;进一步求得 各自的值;光谱分析仪器比较;光谱分析测试系统-反射率的测量;光谱分析测试系统-反射率的困难;测自然光的倾斜入射透过率，由于入射光偏振态的问题带来测量问题 V-W型测试：参考样品先放于位置a 处，测试信号I1； 测试样品后表面的影响，测试透过率时不可避免会引入后表面的影响，需要通过计算消除此种影响。 可见光电接收器：光电三极管、光电倍增管、CCD 应用迈克尔逊干涉仪对不同波长的光信号进行频率调制，在频率域内记录干涉强度随光程改变的完全干涉图信号，并对此干涉信号进行傅立叶逆变换，得到被测光光谱； 入射光位置偏移带来测量的问题 光谱分析测试系统-反射率的测量 特点：信噪比高，重复性好，分辨率高，扫描速度快 测试样品后表面：根据空白基板的双面透射率，从样品双面透射率数值中求出前表面的透射率数值； 减反射膜要求反射率的精度低于％，而激光高反射膜要求反射率在高于99％的范围内能够有优于％的测量精度； 测试样品厚度对测试结果的影响，较厚的高折射率基片会使光束在接受器光敏面的汇聚状况发生变化，从而引起测量误差。 光学薄膜透、反射率的常用测量方法 光谱分析测试系统-反射率的困难;光谱分析测试系统-多次反射法测量反射率;样品的反射率为：;利用激光谐振腔测试激光高反射镜的反射率;分光光度计中影响测量的因素：;分光光度计中影响测量的因素：;具体测量中的一些问题;入射光位置偏移带来测量的问题;入射光位置偏移带来测量的问题;测自然光的倾斜入射透过率，由于入射光偏振态的问题带来测量问题;突跳现象;突跳现象产生的原因 这种现象一般都出现在倾斜入射的情况下 偏振的影响 偏振光在可见光和近红外光的差异 光斑位置的影响 ;光谱透射、反射特性是光学薄膜器件最基本的光学特性，因此光谱仪也是薄膜器件检测中最常用到的检测设备。光谱测试分析时一定要仔细考虑样品的形状、大小、光谱特性等对测试结果的影响。;谢谢观看光学薄膜的检测;光学薄膜透、反射率的常用测量方法;测试前要进行系统光谱校正； 光学薄膜透、反射率的常用测量方法 红外光电接收器：硫化铅光敏电阻、红外半导体传感器或热电偶 单色仪：由色散原件、狭缝机构以及色散原件的扫描驱动； 光谱分析测试系统-反射率的困难 照明系统：光束整形与会聚； 吸收带内：R=1-T-A； 各种薄膜器件对反射率测量的测量范围和精度多有不同的要求。 各种薄膜器件对反射率测量的测量范围和精度多有不同的要求。 两个信号进行比较得到透射率； 非常规光谱特性的测量，需要自己设计测量附件进行测量。 利用激光谐振腔测试激光高反射镜的反射率 测试样品放于b处，测试信号I2，则R=(I1I2)1/2 测试样品后表面的影响，测试透过率时不可避免会引入后表面的影响，需要通过计算消除此种影响。 V-W型测试：参考样品先放于位置a 处，测试信号I1； 对光源的稳定性以及系统的稳定性要求极高； 单次反射时参考样品反射率影响测试精度； 光谱透射、反射特性是光学薄膜器件最基本的光学特性，因此光谱仪也是薄膜器件检测中最常用到的检测设备。;单色仪型分光光度计原理;原理;双光路测试;干涉型光谱分析系统;光谱仪测试一般步骤;偏振测量;光源为部分偏振光时，薄膜偏振特性的测量;图（b）放置：;进一步求得 各自的值;光谱分析仪器比较;光谱分析测试系统-反射率的测量;光谱分析测试系统-反射率的困难;测自然光的倾斜入射透过率，由于入射光偏振态的问题带来测量问题 V-W型测试：参考样品先放