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一种SRAM器件及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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一种SRAM器件及其制作方法.pdf

    本申请提供了一种SRAM器件及其制作方法，涉及半导体技术领域。该SRAM器件包括负载晶体管、传输晶体管以及驱动晶体管，首先提供一衬底，接着基于衬底定义负载晶体管、传输晶体管以及驱动晶体管的有源区并形成浅槽隔离，再基于负载晶体管的有源区表面进行氧离子注入，以减小负载晶体管的顶角圆滑程度，并增加负载晶体管的有源区上方的氧化层厚度，之后对负载晶体管、传输晶体管以及驱动晶体管的有源区进行沟道掺杂，接着对负载晶体管、传输晶体管以及驱动晶体管的表面进行处理，并露出有源区，最后基于负载晶体管、传输晶体管以及驱

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116963493 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202310957862.2 (22)申请日 2023.07.28 (71)申请人 合肥晶合集成电路股份有限公司 地址

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