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侧面粗化提高GaN基LED光提取效率的研究的中期报告 中期报告： 研究目标： 本研究旨在通过侧面粗化来提高GaN基LED的光提取效率。具体包括以下目标： 1.设计和制作不同粗糙度的侧面粗化结构； 2.利用数字模拟和实验分析侧面粗化对LED的光提取效率的影响； 3.优化侧面粗化结构，获得最佳的光提取效率。 研究进展： 1.设计和制作不同粗糙度的侧面粗化结构 本研究设计了3种不同的侧面粗化结构，分别为口袋状结构、圆锥形结构和随机粗化结构。这些结构通过刻蚀或利用微纳加工技术进行制作。 2.利用数字模拟和实验分析侧面粗化对LED的光提取效率的影响 我们使用模拟软件分析了侧面粗化结构对光提取效率的影响，并与实验结果进行比对验证。结果表明，侧面粗化结构可以显著提高LED的光提取效率，其中圆锥形结构的效果最好。 3.优化侧面粗化结构，获得最佳的光提取效率 基于前两个目标的结果，我们优化了圆锥形结构，并进行了实验验证。最终结果表明，我们成功地提高了GaN基LED的光提取效率。 下一步工作： 1.继续进行侧面粗化结构的优化； 2.深入研究侧面粗化结构对LED发光特性的影响； 3.进一步提高LED的光提取效率。