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四氯化硅氢化.pdfVIP

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  • 2023-11-01 发布于天津
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四氯化硅氢化.pdf

    四氯化硅氢化 一、 副产物四氯化硅 1. 四氯化硅的产生 在多晶硅生产中，无论是SiHCl3 的合成还是氢还原制取多晶硅，都会产生大 量的副产物四氯化硅，并随尾气排出，如： 在氢还原中： 主反应： 3HCl+Si=SiHCl3+H2 副反应：4SiCl Si+3SiCl4+2H3 3 2SiCl3 Si+2

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