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- 2023-11-01 发布于四川
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本发明公开了一种用于晶圆生产的智能监测预警系统，框架包括设备层、数据库层和控制层，所述设备层包括输入设备和输出设备，所述输入设备包括扫描电子显微镜、光学照射装置、摄像机，所述输出设备包括显示装置、灰尘异常预警装置、故障异常预警装置，所述数据库层用于存储系统工作过程中采集的数据，所述控制层包括CPU、灰尘检测模块、缺陷检测与故障设备预测模块、通讯模块、灰尘异常预警模块和故障异常预警模块，所述灰尘检测模块用于监测不同生产阶段是否发生灰尘异常增多的情况；所述缺陷检测与故障设备预测模块用于检测不同设备是
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116978834 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202311213205.3
(22)申请日 2023.09.20
(71)申请人 泓浒 （苏州）半导体科技有限公司
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