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一种纳米管LED及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-11-01 发布于四川
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一种纳米管LED及其制作方法.pdf

    本发明公开了一种纳米管LED及其制作方法，所述纳米管LED包括衬底和设置在衬底上的外延层，所述外延层垂直刻蚀有多个具有相同结构的纳米管，所述纳米管的内壁和/或外壁附着有金属纳米粒子。通过在外延层采用纳米管结构，通过纳米管间的间隙以及纳米管的空心结构形成大量的空间间隙，LED芯片中各个纳米管产生的热量就可以通过大量的空间间隙散发掉，提升了LED芯片的散热性能。同时还可以利用纳米管阵列的特殊光学特性，可以提高LED在垂直方向的出光效率；同时通过在纳米管上镀金属纳米粒子，利用表面等离子体增强效应，在小

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107731975 A (43)申请公布日 2018.02.23 (21)申请号 20171

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