原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本公开提供了一种保护膜的贴合装置及保护膜的贴合方法，涉及半导体技术领域。保护膜的贴合装置用于将保护膜贴合在光罩的被保护面上，保护膜包括膜片和环绕于膜片的膜框，保护膜的贴合装置包括顶板、承载架、贴膜结构。顶板朝向光罩的一侧设有支撑件，支撑件被配置为在贴膜的过程中能够抵接光罩。承载架为中空结构，且被配置为以使光罩的被保护面背离顶板的方式支撑光罩。贴膜结构被配置为能够承载保护膜，使保护膜穿过承载架后朝向顶板移动，当支撑件与光罩接触时，使膜框的贴合面贴合在光罩的被保护面。其中，支撑件在保护膜上的正投影落
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116968988 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310899560.4
(22)申请日 2023.07.20
(71)申请人 长鑫科技集团股份有限公司
地址
文档评论（0）