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一种基片底座多供料机构.pdfVIP

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  • 2023-11-01 发布于四川
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一种基片底座多供料机构.pdf

    本发明公开了一种基片底座多供料机构，包括震动供料部，所述震动供料部的出料端上设置有中转平台，所述中转平台上设置有入料槽，所述入料槽的两侧边上设置有推料板和出料口，所述出料口一侧设置有转载载具，所述转载载具上设置有至少两个限位槽，所述转载载具底部设置有平移气缸，所述转载载具上方设置有移栽机械手，所述移栽机械手包括移栽安装平台，所述移栽安装平台底部设置有多个气缸夹手，所述移栽安装平台顶部设置有移栽伸缩气缸，所述移栽伸缩气缸通过移栽连接臂与移栽动力平台连接。本发明能够稳定且可靠的供给多个基片底座，便于

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107777344 A (43)申请公布日 2018.03.09 (21)申请号 20171

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