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本申请提供一种键合头组件、键合装置和相对平行度的检测方法及其系统，该制作方法包括：用于压合晶圆的水平压合部，水平压合部包括键合面；键合面包括至少三个第一通孔，至少三个第一通孔的尺寸形状相同且位于至少两条直线上；与第一通孔数量相同且穿过水平压合部的多个管道，多个管道相互独立且互不连接；管道的一端与用于提供压力气体的供气源连接，第一通孔穿过管道的另一端以用于向靠近晶圆的方向排出压力气体；以及，安装于管道上且用于测量管道内气体流量的流量计；流量计将气体流量发送给处理器以检测键合面与晶圆之间的相对平行度
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116978823 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310907077.6
(22)申请日 2023.07.21
(71)申请人 湖北江城芯片中试
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