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用于光气动探测的微流量传感器制备及其特性研究的中期报告 本中期报告主要介绍了用于光气动探测的微流量传感器的制备及其特性研究，具体内容如下： 1. 研究背景 近年来，随着科技的不断发展，光气动探测技术被广泛应用于工业、环境监测、医疗等领域。而微流量传感器作为光气动探测技术的关键部件，其性能的优良与否直接决定了光气动探测技术的灵敏度与可靠性。 2. 制备方法 本研究采用软微加工技术制备微流量传感器。具体步骤包括：首先在双面光刻胶薄膜上进行图案设计，然后使用光刻技术将图案转印到热塑性聚氨酯（TPU）薄膜上，最后采用热压法将TPU薄膜与微孔硅片粘合在一起并切割成适当大小。 3. 传感器特性测试 通过实验测试，我们发现该微流量传感器具有以下特性： （1）高灵敏度：微孔硅片和TPU薄膜的嵌合结构使得传感器对气体的敏感度较高； （2）良好的线性响应特性：在1-1000 mL/min的范围内，传感器的响应与气体流量之间呈现良好的线性关系； （3）快速响应和恢复时间：传感器对气体的响应时间为约300ms，恢复时间为约150ms； （4）较好的重复性和稳定性。 4. 研究意义 本研究的微流量传感器不仅可以用于光气动探测系统中，还可以应用于其他需要对气体进行流量控制和检测的场合。同时，该传感器的制备方法简单、成本低廉，具有工程化的应用前景。