离子注入制备hgcdte红外探测器性能优化研究.docxVIP

PAGE 2 PAGE 2 　　摘要：红外探测器在国防、工业、民用等领域有着广泛的应用，红外探测器材料生长、器件制备等研究工作受到极大关注，由于涉及国防领域，各国也相互保密。Hg,Cd,Te(MCT)合金体系作为一种重要的红外探测器材料。本文将对红外探测器进行简单概述，相关器件制备工艺的发展现状、器件的电流-电压特性测试，特别是零偏电阻值R0探测器单元的面积A的乘积与R0A是一个反映红外探测器性能的重要参数，通过对相关工艺参数进行系统研究，获取优化的工艺参数组合，为HgCdTe(MCT)合金体系的红外探测器性能提升提供参考数据库。 关键词：离子注入HgCdTe红外探测器