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电容式传感器4.1 工作原理 电容式传感器是将被测物理量转换为电容量变化的装置。它实质上是一个具有可变参数的电容器。 从物理学可知，由两个平行极板组成的电容器其电容量为 式中 :——极板间介质的相对介电常数。——真空中介电常数 。——极板间距离； ——极板面积 。 上式表明，当被测量 、 或 数值发生变化时，都会引起电容C的变化。如果保持其中的两个参数不变，而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化转变成电容量的变化。根据电容器变化的参数，可分为极距变化型、面积变化型和介质变化型三类。在实际中，极距变化型与面积变化型的应用较为广泛。 (一)极距变化型 如果两极板互相覆盖面积及极板间介质不变，则电容量C与极距 呈非线性关系。当极距有一微小变化量 时，引起电容的变化量 为 ：极距为 时的初始电容量。 存在着原理非线性，所以实际中常常作成差动式来改善非线性。 考虑到极板的边缘效应，即极板边沿电场的不均匀性。为消除其影响，采用了保护环。保护环与极板具有同一电位。这就把电极板间的边缘效应移到了保护环与极板2的边缘。极板1与极板2之间的场强分布变得均匀了。 (二)变面积型电容传感器(1) 直线位移型电容式传感器 当动极板移动△x后，覆盖面积就发生变化，电容量也随之改变，其值为电容因位移而产生的变化量为其灵敏度为可见,增加b或减小d均可提高传感器的灵敏度。 （2）变面积式电容传感器的派生型 图a是角位移型电容式传感器。当动片有一角位移时，两极板间覆盖面积就发生变化，从而导致电容量的变化，此时电容值为 图b中极板采用了锯齿板，其目的是为了增加遮盖面积，提高灵敏度。当齿板极板的齿数为n，移动△x后，其电容量为 其灵敏度为 由前面的分析可得出结论，变面积式电容传感器的灵敏度为常数，即输出与输入呈线性关系。 在变面积型电容传感器中，平板型结构对极距变化特别敏感，测量精度受到影响。而圆柱形结构受极板径向变化的影响很小，在实际中很常用。当忽略线位移以及单组式的电容量C的边缘效应时： ：外圆柱与内圆柱覆盖部分的长度。：外圆柱内半径和内圆柱外半径。 当两圆柱相对移动 时，电容变化量 为：这类传感器具有良好的线性。 （三）变介电常数型电容传感器 变介电常数型电容传感器用来测量电介质的厚度，还可根据极板间介质的介电常数随温度、湿度改变而改变来测量介质材料的温度、湿度等。若忽略边缘效应， ：两固定极板间的距离，极筒重合部分 的高度。：被测物的厚度、被测液面高度和它的 介电常数。：固定极板长度、宽度。被测物进入两 极板间的长度。：空气的介电常数。：内极筒外半径和外极筒内半径。 注意：电极之间的被测介质导电时，电极表面应涂绝缘层（如0.1mm厚的聚四氟乙烯等）以防止电极间短路。 4.2 主要性能（1） 静态灵敏度 静态灵敏度是被测量缓慢变化时，传感器电容变化量与引起其变化的被测量变化之比。 (a).对于变极矩型： 灵敏度是初始极板间距 的函数，减少 可以提高灵敏度。但 过小，易导致电容器击穿，可在极间加一层云母片，或塑料膜来改善电容器耐压性能。 (b). 圆柱形变面积型电容式传感器 灵敏度取决于 ， 与 越接近，灵敏度越高。虽然内外筒原始覆盖长度 与灵敏度无关，但 不可太小，否则边缘效应将影响到传感器的线性。 （2） 非线性 对变极距型电容式传感器而言，当极板间距 变化 时，其电容量随之变化， 输出电容 与被测量 之间是非线性关系。因此常工作在一个较小的范围内，而且最大 应小于极板间距 的1/5~1/10。 采用差动形式，非线性得到很大的改善，灵敏度也提高了一倍。 变面积型和变介电常数型电容器具有很好的效应，但这需忽略边缘效应。 电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热较小，影响稳定性甚微。而电阻式传感器有电阻，易发热产生温漂。1. 温度稳定性好4.3 特点（一） 优点 2. 结构简单，适应性强 电容式传感器结构简单，易于制造，易于保证高的精度；可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量。 3. 动态响应好 电容式传感器由于极板间的静电引力很小，需要的作用能量极小，又由于它的可动