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精密超精密加工技术研究论文 超精密加工是世界科技发展的重要前沿领域，它是20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等尖端技术的需要而发展起来的精度极高的一种加工技术。它同样是现代制造技术之一，与传统加工在加工方法、加工精度等方面有着本质的区别，是零件加工精度和质量的飞跃。 一、超精密加工概述 超精密加工是指在超精密机床设备上，利用零件与刀具之间产生的具有严格约束的相对运动，对材料进行微量切削，以获得极高形状精度和表面光洁度的加工过程。目前，超精密加工是指被加工零件的尺寸精度高于0.1μm，表面粗糙度Ra小于0.025μm，以及所用机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01μm 的加工技术，也可称为亚微米级加工技术，并且正在向纳米级加工技术发展。精密与超精密加工技术以不断提高加工精度和表面质量为目标，在不同的发展时期具有不同的定义，并没有严格的分界线。 如今，超精密加工技术已经发展成为一门综合多学科的高新技术，涉及材料、加工设备、电子、计算机、检测和工作环境等多个方面，在高技术领域和军用工业、民用工业中都有广泛应用，并且成为衡量一个国家先进制造技术水平的重要指标之一。 超精密加工的发展经历了如下三个阶段: 1技术开创期：20世纪50年代-80年代 20世纪50年代末，出于航天、国防等尖端技术发展的需要，美国率先发展了超精密加工技术，开发了金刚石刀具超精密切削——单点金刚石切削，用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面、非球面大型零件等。这一时期，金刚石车床主要用于铜、铝等软金属的加工，也可以加工形状较复杂的工件，但只限于轴对称形状的工件例如非球面镜等。 2民间工业应用初期：20世纪80年代-90年代 20世纪80年代后期，美国通过能源部“激光核聚变项目”和陆、海、空三军“先进制造技术开发计划”对超精密金刚石切削机床的开发研究，投入了巨额资金和大量人力，实现了大型零件的微英寸超精密加工。美国国家实验室研制出的大型光学金刚石车床称为超精密加工史上的经典之作。这是一台最大加工直径为1.625m的立式车床，定位精度可达28nm，借助在线误差补偿能力，可实现长度超1m、而直线度误差只有±25nm的加工。 3民间工业应用成熟期：20世纪90年代至今 从1990年起，由于汽车、能源、医疗器材、信息、光电和通信等产业的蓬勃发展，超精密加工的需求急剧增加。在这一时期，超精密加工设备的相关技术，例如控制器、激光干涉仪、空气轴承精密主轴、空气轴承导轨、油压轴承导轨、摩擦驱动进给轴也逐渐成熟。此外，设备精度也逐渐增广，除了金刚石车床和超精密研磨外，超精密五轴铣削和飞切技术也被开发出来，并且可以加工非轴对称非球面的光学镜片。 目前世界上的超精密加工强国以欧美和日本为先，但两者的研究重点并不一样。欧美出于对能源或空间开发的重视，特别是美国，几十年来不断投入巨额经费，对大型紫外线、X射线探测望远镜的大口径反射镜的加工进行研究。目前此类反射镜的材料为质量轻且热传导良好的碳化硅，但碳化硅硬度很高，须使用超精密研磨加工等方法。日本对超精密加工技术的研究相对美、英来说起步较晚，却是当今世界超精密加工技术发展最快的国家。日本超精密加工的应用对象大部分是民用产品，包括办公自动化设备、视像设备、精密测量仪器、医疗器械和人造器官等，很多小型和超小型电子和光学零件的超精密加工技术方面甚至超过了美国。 我国超精密加工行业起步较晚，早期受技术限制，超精密加工设备完全依赖进口，后得益于国内科技技术、研发水平提升，超精密加工行业取得良好成果，高端设备国产化率持续攀升。但总体来看，我国超精密加工行业在加工精度、加工效率、技术配套性方面仍与国际先进水平存在差距，未来仍需大量的研究和资金投入。 二、超精密加工机床的现状及发展趋势? 1国外超精密加工机床技术现状 发展超精密机床是发展超精密加工的极重要内容，各发达国家都发展了多种超精密机床。超精密机床也向着高精度、多功能和高效专用方向发展。 美国是开展超精密加工技术研究最早的国家，也是迄今处于世界领先地位的国家。早在20世纪50年代末，由于航天等尖端技术发展的需要，美国首先发展了金刚石刀具的超精密切削技术，并发展了相应的空气轴承主轴的超精密机床。美国Moore公司2000年生产的五轴联动500FG超精密机床不仅可以加工精密回转体非球曲面，还可以加工精密自由曲面。该加床空气轴承主轴转速20~2000r/min，主轴回转误差 ≤0.025μm。液体静压导轨由无刷直线电机驱动，直线度误差≤0.025μm /300mm ，定位精度0.3μm。 在超精密加工技术领域，英国克兰菲尔德技术学院所属的克兰菲尔德精密工程研究所(简称CUPE) 享有较高声誉，他是当今世界精密工程研究中心之一，是英国超精密加工技术水平的独特代表。英国Cran