氦质谱检漏规程 - 副本.docxVIP

作业文件 版本： 页次 第1页共14页 文件编号：CBVAC- 文件名称 氦质谱检漏测试规程 初版日期： 修订日期： 生效日期： 修订记录 版本号 修订日期（年-月-日） 修订人 修订简述 编制 日期 审核 日期 批准 日期 作业文件 版本： 页次 第2页共14页 文件编号：CBVAC- 文件名称 氦质谱检漏测试规程 初版日期： 修订日期： 生效日期： 1、 目的： 为了确保产品符合技术要求，特制定检验文件指导现场进行检漏工作。 2、 范围：车 2.1适用于公司所有真空产品的检漏作业。 3、 引用标准： QJ 3123-2000氦质谱真空检漏方法 QJ 2861-96氦质谱检漏最小可检漏率检验方法 JHFM.00-YG核安全级真空阀门项目出厂验收测试大纲 JHFM.00-SG002核安全级真空阀门项目功能性试验大纲 LH/3S-9S-05/01（D）-E-03-A0核安全级真空气氛阀技术规格书 3.6GB/T15823-2009氦泄露检测方法 作业文件 版本： 页次 第3页共14页 文件编号：CBVAC- 文件名称 氦质谱检漏测试规程 初版日期： 修订日期： 生效日期： 4、定义： 4.1真空检漏技术： 就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。 在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、