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- 2023-11-08 发布于四川
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提供一种制造电极结构的方法和用于制造电极结构的设备。该方法可以包括：形成第一栅电极，对形成在第一栅电极上的电极封盖层执行去除处理，在第一栅电极上形成第二栅电极，以及对第二栅电极的上部氮化。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117015238 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202310440104.3 H10B 63/00 (2023.01)
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