原创力文档- 13
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- 2023-11-08 发布于四川
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本发明公开了一种晶圆对准装置及方法。该装置包括：真空腔体、光学玻璃、第一晶圆控制部件、第二晶圆控制部件以及视觉观测系统；真空腔体的第一平面与第二平面平行；光学玻璃固定在第二平面的外表面；视觉观测系统用于透过光学玻璃观测真空腔体内的第一晶圆或第二晶圆，视觉观测系统支持在第一方向和第二方向上移动；第一晶圆控制部件贯穿第一平面，用于拾取并吸附第一晶圆、控制第一晶圆在第一方向上移动；第二晶圆控制部件安装在第二平面的内表面，用于承载并吸附第二晶圆，以及根据视觉观测系统对第一晶圆的观测结果控制第二晶圆与第一
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117012689 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202311243974.8
(22)申请日 2023.09.26
(71)申请人 天津中科晶禾电子科技有限责任公
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