一种硅片减薄机的清洗设备.pdfVIP

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2023-11-08 发布于四川
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一种硅片减薄机的清洗设备.pdf

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本实用新型公开了一种硅片减薄机的清洗设备，包括位于减薄机的磨盘和转动盘之间一侧的清洗喷头，用于清洗硅片打磨时产生的灰尘，清洗喷头通过水泵、清洗管和储水箱相连，所述清洗管上设有连接件，所述连接件上设有滑动件，所述滑动件在驱动机构带动的转辊的滑槽上滑动，从而清洗喷头对硅片打磨产生的灰尘进行来回往复清洗，转动盘下方设有排污斗。本硅片减薄的清洗机通过清洗喷头、连接件、连接件上的滑动件，滑动件在驱动机构带动的转辊的滑槽上滑动，从而对磨盘和转动盘之间打磨时产生的灰尘进行来回往复冲洗，不留死角，除灰效果更佳；

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219967604 U (45)授权公告日 2023.11.07 (21)申请号 202321280173.4 (22)申请日 2023.05.25 (73)专利权人绍兴宇力半导体有限公司地址