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- 2023-11-11 发布于四川
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本实用新型涉及一种硅片插片装置及生产线,包括变节距机构,其包括支承架和提升结构,支承架包括两个对称设置的竖板,竖板上均设置有多个在竖直方向上间隔排布的支撑柱,且两竖板上的支撑柱两两对称组成多个水平的承载位,提升结构用于驱动支承架在竖直方向上运动;传送机构,其用于将硅片传送至承载位中;抓取机构,其包括多个沿竖直方向间隔排布的基板,基板的排布间距与各竖板上的支撑柱的排布间距相对应,且基板上均设置有吸盘组件。通过本实用新型的硅片插片装置,能够将硅片以预定的间距快速地排列起来,效率高且对硅片造成损坏和污
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219998156 U
(45)授权公告日 2023.11.10
(21)申请号 202320606582.2
(22)申请日 2023.03.24
(73)专利权人 罗博特科智能科技股份有限公司
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