一种宽量程柔性压力传感器及其制备方法.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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一种宽量程柔性压力传感器及其制备方法.pdf

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本发明公布了一种宽量程柔性压力传感器及其制备方法。所述压力传感器包括柔性传感层、柔性基底、电极层和导线，柔性传感层由不同硬度的至少三层柔性材料组成，每层柔性材料上设有微结构且每层柔性材料的微结构之间的尺寸不同；电极层布置在柔性基底层的表面且和柔性传感层表面接触，并由导线引出便于与外部检测设备连接。本发明通过在柔性传感层内部设置硬度梯度和微结构尺寸梯度，大大拓宽传感器的量程，并提高灵敏度和全量程范围内的线性度，克服压力传感器高灵敏度与宽量程难以兼得的问题，可有效拓宽应用范围。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117030079 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311295610.4 G01L 9/04 (2006.01) (22)申请日 2023.10.0