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一种红外增透膜层结构、制备方法以及非制冷红外探测器.pdfVIP

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  • 2023-11-11 发布于四川
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一种红外增透膜层结构、制备方法以及非制冷红外探测器.pdf

    本发明涉及半导体技术领域，具体为一种红外增透膜层结构、制备方法以及非制冷红外探测器，通过堆叠设置的叠层红外增透膜结构，能够在保证红外探测器红外光高透过率的同时，又能够对面阵级封装结构腔体进行良好的密封，防止腔体内与外部气体之间的扩散，保证红外探测器的检测性能。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117023503 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311012059.8 G01J 5/12 (2006.01) (22)申请日 2023.08.1

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