光学光刻中掩模频谱研究(1).docx

. . .. 光学光刻中掩模频谱研究 电子与通信工程系应用物理学专业 2005 级一班肖学美 指导老师：周远 讲师 摘 要 本文从频谱角度分析传统二元掩模和几种相移掩模， 通过对各种掩模透过率函数进 行频谱计算建立数学模型。在此基础上利用